Plasmaloses und Iaserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom.
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Karlsruhe :
FZKA,
1995.
|
| Tags: |
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Item Description: | Bibliografía: p.50-52 |
|---|---|
| Physical Description: | 52 p. : il. |
| ISSN: | 0947-8620 |