Plasmaloses und Iaserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom.
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Karlsruhe :
FZKA,
1995.
|
| Tags: |
No Tags, Be the first to tag this record!
|
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 008 | 170703s1995####gw a|||f#|||||00| 0#ger#d | ||
| 003 | AR-SmCIES | ||
| 022 | |a 0947-8620 | ||
| 024 | 8 | |a FZKA-5574 | |
| 041 | 7 | |a de |2 ISO 639-1 | |
| 041 | 7 | |a de |2 ISO 639-1 | |
| 041 | 7 | |a en |2 ISO 639-1 | |
| 091 | |a 45918 | ||
| 100 | 1 | |a Köhler, U. | |
| 710 | 2 | |a Forschungszentrum Karlsruhe^pDE | |
| 245 | 1 | 0 | |a Plasmaloses und Iaserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom. |
| 260 | |a Karlsruhe : |b FZKA, |c 1995. | ||
| 300 | |a 52 p. : |b il. | ||
| 500 | |a Bibliografía: p.50-52 | ||
| 700 | 1 | |a Guber, A. | |
| 700 | 1 | |a Bier, W. | |
| 999 | |c 18636 |d 18636 | ||