Plasmaloses und Iaserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom.

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Bibliographic Details
Main Author: Köhler, U.
Corporate Author: Forschungszentrum Karlsruhe^pDE
Other Authors: Guber, A., Bier, W.
Format: Book
Language:German
Published: Karlsruhe : FZKA, 1995.
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