APA (7th ed.) Citation
Köhler, U., Guber, A., & Bier, W. (1995). Plasmaloses und Iaserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom. FZKA.
Chicago Style (17th ed.) Citation
Köhler, U., A. Guber, and W. Bier. Plasmaloses Und Iaserinduziertes Ätzen Von Silicium Mit Den Halogenen Fluor, Chlor Und Brom. Karlsruhe: FZKA, 1995.
MLA (9th ed.) Citation
Köhler, U., et al. Plasmaloses Und Iaserinduziertes Ätzen Von Silicium Mit Den Halogenen Fluor, Chlor Und Brom. FZKA, 1995.
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