Integrated Photonic Optomechanical Atomic Force Microscopy Probes Batch Fabricated Using Deep UV Photolithography

Fil: Perez, Diego Javier. Consejo Nacional de Investigaciones Cientificas y Tecnicas. Oficina de Coordinacion Administrativa Ciudad Universitaria. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia - Nodo Bariloche | Comision Nacion...

Full description

Bibliographic Details

Main Authors:	Perez, Diego Javier, Wang, Mingkang, Madhaven, Venkatesh, Sathisivan, Mogana, Tay, Charlie, Aksyuk, Vladimir A.
Published:	Institute of Electrical and Electronics Engineers 2023
Online Access:	https://nuclea.cnea.gob.ar/handle/20.500.12553/8553
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!