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Single ended capacitive self-sensing system for comb drives driven XY nanopositioners

Fil: del Corro, P.G. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto Balseiro. Laboratorio de Bajas Temperaturas; Argentina; Universidad Nacional de Cuyo; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina

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Main Authors: del Corro, P.G., Imboden, M., Pérez, D.J., Bishop, D.J., Pastoriza, H.
Other Authors: Gerencia Física. Departamento Materia Condensada. División Bajas Temperaturas
Language:English
Published: Elsevier 2018
Subjects:
MEMS
MICROSCOPIA DE EFECTO TUNEL
MICROSCOPIA DE FUERZA ATOMICA
Comb drives
Nanopositioners
Capacitive detection
Online Access:https://nuclea.cnea.gob.ar/handle/20.500.12553/5512
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https://nuclea.cnea.gob.ar/handle/20.500.12553/5512

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