Single ended capacitive self-sensing system for comb drives driven XY nanopositioners - del Corro, P.G.; Imboden, M.; Pérez, D.J.; Bishop, D.J.; Pastoriza, H. (Elsevier, 2018)
Fil: del Corro, P.G. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto Balseiro. Laboratorio de Bajas Temperaturas; Argentina; Universidad Nacional de Cuyo; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina