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Comb Drive Designs With Minimized Levitation

Fil: del Corro, P. G. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto Balseiro. Laboratorio de Bajas Temperaturas; Argentina; Universidad Nacional de Cuyo; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina

Saved in:
Main Authors: del Corro, P. G., Imboden, M., Bishop, D. J., Pastoriza, H.
Other Authors: Gerencia Física. Departamento Materia Condensada. División Bajas Temperaturas
Language:English
Published: IEEE (Institute of Electrical and Electronics Engineers) 2016
Subjects:
MEMS
LEVITACION
SUBSTRATOS
Comb drives
Levitation
Actuators
Online Access:https://nuclea.cnea.gob.ar/handle/20.500.12553/5511
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