Sistema de fabricación de nano-estructuras basado en MEMS.
Fil. Corro, Pablo G. del. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto Balseiro; Argentina
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | Spanish |
| Published: |
Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto Balseiro
2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nuclea.cnea.gob.ar/handle/20.500.12553/9356 |
| Tags: |
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| _version_ | 1866906956382339073 |
|---|---|
| author | Corro, Pablo G. del |
| author2 | Pastoriza, Hernán (director) |
| author_browse | Corro, Pablo G. del Pastoriza, Hernán (director) |
| author_facet | Pastoriza, Hernán (director) Corro, Pablo G. del |
| author_sort | Corro, Pablo G. del |
| collection | DSpace |
| description | Fil. Corro, Pablo G. del. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto Balseiro; Argentina |
| id | dspace-20.500.12553-9356 |
| institution | Repositorio Institucional NUCLEA |
| language | spa |
| publishDate | 2017 |
| publishDateSort | 2017 |
| publisher | Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto Balseiro |
| publisherStr | Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto Balseiro |
| record_format | dspace |
| spelling | dspace-20.500.12553-93562026-04-06T16:45:27Z Sistema de fabricación de nano-estructuras basado en MEMS. MEMS-based nano-structures fabrication system. Corro, Pablo G. del Micro-electromechanical systems Sistemas micro-electromecánicos Comb drives Nano-fabrication Nano-fabricación Capacitive sensing Sensado capacitivo Dynamics stencil Estencil dinámico Thermal evaporation Evaporación térmica Fil. Corro, Pablo G. del. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto Balseiro; Argentina Pastoriza, Hernán (director) Universidad Nacional de Cuyo (Argentina). Instituto Balseiro Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto Balseiro Universidad Nacional de Cuyo (Argentina). Instituto Balseiro 2017-03-01 info:eu-repo/semantics/closedAccess https://nuclea.cnea.gob.ar/handle/20.500.12553/9356 spa info:eu-repo/semantics/openAccess |
| spellingShingle | Micro-electromechanical systems Sistemas micro-electromecánicos Comb drives Nano-fabrication Nano-fabricación Capacitive sensing Sensado capacitivo Dynamics stencil Estencil dinámico Thermal evaporation Evaporación térmica Corro, Pablo G. del Sistema de fabricación de nano-estructuras basado en MEMS. |
| title | Sistema de fabricación de nano-estructuras basado en MEMS. |
| title_full | Sistema de fabricación de nano-estructuras basado en MEMS. |
| title_fullStr | Sistema de fabricación de nano-estructuras basado en MEMS. |
| title_full_unstemmed | Sistema de fabricación de nano-estructuras basado en MEMS. |
| title_short | Sistema de fabricación de nano-estructuras basado en MEMS. |
| title_sort | sistema de fabricacion de nano estructuras basado en mems |
| topic | Micro-electromechanical systems Sistemas micro-electromecánicos Comb drives Nano-fabrication Nano-fabricación Capacitive sensing Sensado capacitivo Dynamics stencil Estencil dinámico Thermal evaporation Evaporación térmica |
| url | https://nuclea.cnea.gob.ar/handle/20.500.12553/9356 |
| work_keys_str_mv | AT corropablogdel sistemadefabricaciondenanoestructurasbasadoenmems AT corropablogdel memsbasednanostructuresfabricationsystem |