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Sistema de fabricación de nano-estructuras basado en MEMS.

Fil. Corro, Pablo G. del. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto Balseiro; Argentina

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Bibliographic Details
Main Author:	Corro, Pablo G. del
Other Authors:	Pastoriza, Hernán (director)
Language:	Spanish
Published:	Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto Balseiro 2017
Subjects:	Micro-electromechanical systems Sistemas micro-electromecánicos Comb drives Nano-fabrication Nano-fabricación Capacitive sensing Sensado capacitivo Dynamics stencil Estencil dinámico Thermal evaporation Evaporación térmica
Online Access:	https://nuclea.cnea.gob.ar/handle/20.500.12553/9356
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Summary:	Fil. Corro, Pablo G. del. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto Balseiro; Argentina