Detecting Plasma Produced by Laser in a Micromachining System as In-process Control

Fil: Toro Salazar, Cinthya Emma. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina. Comisión Nacional de Energía Atómica. Gerencia del Área de Investigación y Aplicaciones No Nucleares. Gerencia Física (Centro Atómico Constituyentes). Proyecto Tandar; Argentina

Bibliographic Details

Main Authors:	Toro Salazar, Cinthya Emma, Lasorsa, Carlos Alberto, Rinaldi, Carlos Alberto
Published:	Japan Laser Processing Soc 2011
Online Access:	https://nuclea.cnea.gob.ar/handle/20.500.12553/8023
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