Grundlegende Untersuchungen zur Fertigung gestufter Mikrostrukturen aus fluorierten Polymeren nach dem LIGA-Verfahren.

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Bibliographic Details
Main Author: Kalb, H.
Corporate Author: Forschungszentrum Karlsruhe^pDE
Other Authors: Bacher, W., Harmening, M., Ruprecht, R.
Format: Book
Language:German
Published: Karlsruhe : FZKA, 1995.
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