Grundlegende Untersuchungen zur Fertigung gestufter Mikrostrukturen aus fluorierten Polymeren nach dem LIGA-Verfahren.

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Bibliographic Details
Main Author:	Kalb, H.
Corporate Author:	Forschungszentrum Karlsruhe^pDE
Other Authors:	Bacher, W., Harmening, M., Ruprecht, R.
Format:	Book
Language:	German
Published:	Karlsruhe : FZKA, 1995.
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MARC


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