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Topographical and Physicochemical Contrast in Photopatterned SU-8 Films for Microfabrication of Multilayer Structures

Fil: Salazar Alarcón, L. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Laboratorio de Bajas Temperaturas; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina

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Main Authors: Salazar Alarcón, L., Martínez,E. D., Rodríguez, L. M., Pastoriza, H.
Other Authors: Gerencia Física. Departamento Materia Condensada. División Bajas Temperaturas
Language:English
Published: Hindawi 2016
Subjects:
RETRACCION
MEMS
ESPECTROSCOPIA DE RETRODIFUSION RUTHERFORD
Shrinkage
Rutherford backscattering spectroscopy
Online Access:https://nuclea.cnea.gob.ar/handle/20.500.12553/5392
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Summary:Fil: Salazar Alarcón, L. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Laboratorio de Bajas Temperaturas; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina

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